Cómo utilizar imanes de desviación para un depósito por bombardeo iónico

pulverización catódica es un método para depositar materiales muy finos en el rango de espesor de 5 a 1000 nanómetros . El principio detrás de pulverización catódica es relativamente simple y consiste en el uso de iones de gas aceleradas a bombardear un material objetivo . La colocación de un sustrato adecuado por encima del material objetivo permite que algunos de los átomos de bombardeada para condensar y formar una película delgada . Estándar de pulverización catódica es un proceso bastante ineficaz puesto que el plasma ( iones de gas ) no están localizados en el material objetivo . Magnetrón de pulverización catódica recibe alrededor de este mediante la colocación de una serie de imanes de desviación detrás del material objetivo , por lo tanto confinar el plasma y mejorar la eficiencia . Cosas que necesitará
imanes permanentes
Sputtering sistema
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Medir el radio de la blanco de la farfulla a utilizar. El plasma debe limitarse a dentro de este radio . Decidir sobre un radio adecuado .
2

Calcular el campo magnético necesario para confinar el plasma de este radio . Para ello, utilice la ecuación para el radio ciclotrón :

campo magnético = SQROOT ( 2 x K x m ) /( EXR )

En la ecuación anterior , SQROOT significa todo raíz cuadrada dentro de los corchetes . K es la energía cinética de los iones , m es la masa de los iones, e es la carga del electrón , y r es el radio medido desde el paso 1 .
3

Diseñar un serie de imanes que producen el campo magnético calculado anteriormente . Tenga en cuenta que los imanes se colocan detrás del material objetivo . Por lo tanto , el campo magnético del imán tiene que ser la calculada anteriormente, en la superficie del material objetivo .
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Desmontar la pistola de pulverización catódica , y colocar los imanes detrás del material objetivo . Tenga en cuenta que esto puede implicar un importante rediseño de la pistola.