Según Siliconfareat , hay varias especificaciones mecánicas para obleas , tales como el espesor , el diámetro y la variación de grosor . Obleas deberá ser homogéneo , con poco margen para el error o desviación . Otras especificaciones similares se refieren a la llanura y el borde , el arco y la urdimbre , de nuevo la búsqueda de la uniformidad. La oblea también debe estar libre de marcas desde el proceso de fabricación .
Partículas
Obleas deben ser , en lo posible , libre de partículas , como se indica en ProcessSpecialties , los sistemas que utilizan para buscar incluso la partícula más pequeña en una oblea pulida . La calibración se basa en un estándar de partículas rastreables , que se requiere cuando se ven las obleas .
Grados
Según Advantivtech , hay varios grados de obleas , con los mayores que 150 mm se dividen en pruebas mecánicas y variedades de prueba del proceso. Obleas de ensayo mecánicos se utilizan en equipos de prueba, haciendo hincapié en las características dimensionales y estructurales , mientras que las obleas de prueba de proceso , también conocidas como obleas de monitor, se utilizan para el control de procesos y algunos de fabricación de semiconductores , además de juzgar equipos de limpieza. Otros grados de obleas , incluyen el grado de partículas , diseñado para su uso en las mediciones de partículas.