imanes permanentes
Sputtering sistema
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1
Medir el radio de la blanco de la farfulla a utilizar. El plasma debe limitarse a dentro de este radio . Decidir sobre un radio adecuado .
2
Calcular el campo magnético necesario para confinar el plasma de este radio . Para ello, utilice la ecuación para el radio ciclotrón :
campo magnético = SQROOT ( 2 x K x m ) /( EXR )
En la ecuación anterior , SQROOT significa todo raíz cuadrada dentro de los corchetes . K es la energía cinética de los iones , m es la masa de los iones, e es la carga del electrón , y r es el radio medido desde el paso 1 .
3
Diseñar un serie de imanes que producen el campo magnético calculado anteriormente . Tenga en cuenta que los imanes se colocan detrás del material objetivo . Por lo tanto , el campo magnético del imán tiene que ser la calculada anteriormente, en la superficie del material objetivo .
4
Desmontar la pistola de pulverización catódica , y colocar los imanes detrás del material objetivo . Tenga en cuenta que esto puede implicar un importante rediseño de la pistola.